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2003年     
    7月  離子源系統(tǒng)獲得了丹東市高新技術產(chǎn)品
    12月  順利的通過ISO9001：2000質量管理體系認證

2004年    
    2月  離子源系列產(chǎn)品獲得了高新技術產(chǎn)品證書
    7月  NV6200離子源系統(tǒng)被立項為科技型中小企業(yè)技術創(chuàng)新基金的重點項目
    10月  被授為丹東市民營科技企業(yè)

2005年    
    3月  離子源系列產(chǎn)品入選中國500******新產(chǎn)品
    4月  離子源系列產(chǎn)品通過了遼寧省新產(chǎn)品鑒定
    5月  NV6200離子源系統(tǒng)獲得國家火炬計劃項目證書
    5月  離子源系統(tǒng)通過了遼寧省科技成果鑒定
    8月  獲得省創(chuàng)信資金的扶持
    10月  被評為丹東市高新技術企業(yè)

2006年    
    1月  GSD系列產(chǎn)品獲得丹東市高新技術產(chǎn)品稱號
    4月  離子源系列產(chǎn)品列為國家重點新產(chǎn)品
    4月  NV6200離子源系統(tǒng)獲得丹東市科學技術進步二等獎
    9月  9500系列產(chǎn)品獲得丹東市高新技術產(chǎn)品稱號
    12月  獲得遼寧省科學技術進步三等獎
    12月  NV-6200離子源系統(tǒng)創(chuàng)信基金項目通過國家驗收

2007年     
    1月  獲得丹東市優(yōu)秀民營高新技術企業(yè)
    4月  順利通過ISO9001：2000質量管理體系認證
    7月  被評為遼寧省高新技術企業(yè)
    7月  NV-6200 離子源系統(tǒng)獲遼寧省科技成果轉化項目認定
    12月  GSD系列產(chǎn)品被評為遼寧省優(yōu)秀新產(chǎn)品

2008年    
    7月  獲遼寧省中小企業(yè)廳專精特新產(chǎn)品金獎
    11月  GSD離子源產(chǎn)業(yè)化項目獲科技部國家火炬計劃項目立項

2010年    
    9月  微波等離子體離子源系統(tǒng)獲遼寧省科技型中小企業(yè)技術創(chuàng)新資金立項

2014年    
    1月　通過ISO9001:2008質量管理體系認證

2015年    
    1月　成為中國半導體行業(yè)協(xié)會會員